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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀檢測對象氣體:胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等
* 適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏 * 采用聲光報警
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀技術(shù)指標(biāo):
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理
專線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度 (單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)
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