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BX51M金相顯微鏡———慧龍環科010-59483667
BX51M金相顯微鏡說明
暗視場觀察法 表面安裝板
暗視場可以讓用戶觀察來自樣本散射和衍射的光線。光源的光線會先穿過照明裝置中的環形光學照明器件,然后在樣本上聚焦。樣本上的光線只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此,用戶可以觀測到比光學顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級的微小劃痕和缺陷。暗視場適合檢測樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本,包括晶圓。
偏振光觀察法 石棉
BX51M金相顯微鏡觀察技術所使用的偏振光是由一組濾鏡(檢偏振器和起偏振器)產生的。樣本特征會直接影響系統反射光的強度。該觀察法適用于觀察金相組織(例,球墨鑄鐵中石墨的生長圖案)、礦物、LCD 和半導體材料。
微分干涉(DIC)觀察法 磁頭
DIC 是一種顯微觀察技術,可以將明視場觀察法中無法檢測到的高度差異,用增強的對比度以浮雕或三維圖像的形式表現出來。該項基于偏振光的技術,擁有三個專門設計的棱鏡可供選擇以滿足用戶的需求。該觀察法適用于檢測高度差異極其微小的樣本,包括金相組織、礦物、磁頭研磨面和硬盤表面及晶圓研磨面。
熒光觀察法 半導體晶圓上的顆粒
該項技術適用于觀察那些在受到專門設計的濾鏡(可以按照檢測需要制作)照明時會發出熒光(發出不同波長的光線)的樣本。該方法通過熒光染色,應用于觀測半導體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘渣和裂痕的檢測。可以添加選購的復消色差光源聚光透鏡系統,從而為可見光到近紅外線范圍內的色差進行補償。
IR(紅外線)觀察法 硅晶片層下的半導體電路
對使用了硅片、玻璃等易透射紅外線的電子設備的內部進行無損檢測時,IR 觀察十分有效。IR 物鏡也可用于近紅外線技術,如:拉曼光譜儀和YGA 激光修復應用。
處理濾鏡 枝晶
OLYMPUS Stream 擁有各種濾鏡,可用于邊緣檢測、平滑處理和其它操作。使用處理濾鏡在拍攝的圖像上進行增強和修改處理后,圖像的特征變為可視化。為達到佳效果,可使用預覽圖檢查或調整濾鏡的效果。
透射光觀察法 LCD彩色濾鏡
對于透明樣本,如,LCD、塑料和玻璃材料,可通過使用各種透射光聚光鏡實現真正的透射光觀察。使用透射光可以在明視場、暗視場、DIC 和偏振光中對樣本進行成像和檢查--所有這些都在一個便捷的系統里。
自動制作3D 圖像(EFI) 硬幣細節
使用BX61 或外部電動調焦單元,便可以快速地記錄并組合超出焦深之外的樣本的圖像。只需一鍵操作,使用EFI 功能便可以將各個不同焦深的圖像合成一幅3D 圖像。終的3D數據可用于3D 觀察或用于測量高度和距離。
BX51M金相顯微鏡詳細參數:
BX51M
光學系統
UIS2光學系統(無限遠校正)
機身
照明裝置
反射
內裝12 V 100 W光源 光量預調開關 LED電壓指示
對焦單元
行程25 mm 微調旋鈕1圈的微調行程為100 μm 小刻度單位為1 μm 可設聚焦粗調上限停止位置,粗調旋鈕張力可調
大標本高度
65 mm(不包含臂長調節器)
觀察筒
廣角視場 (視場數為22)
倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒 正象∶三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
超寬視場 (視場數為26.5)
倒置∶三目鏡筒 正象∶三目鏡筒、傾斜式三目鏡筒
反射光 照明裝置
明視場等
BX-RLA2 100 W鹵素燈(可裝高亮度光源、光纖照明裝置) 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光 視場光闌和孔徑光闌(帶中心輸出機構)、明/暗視場法連動的ND濾鏡
反射光 熒光
BX-URA2 100 W汞燈、75 W氙氣燈 六孔分光鏡組件(標準∶WB、WG、WU+BF等) 備有視場光闌和孔徑光闌(帶中心輸出機構)及光閘機構
透射光照明裝置
-
物鏡轉換器
明視場用
六孔、中心輸出六孔、七孔(電動物鏡轉換器選購件)
明/暗視場用
五孔、中心輸出五孔、六孔(電動物鏡轉換器選購件)
載物臺
帶左手(右手)用同軸驅動旋鈕的載物臺:76 (X) × 52 (Y) mm,張力可調 帶左手(右手)用同軸驅動旋鈕的大型載物臺:100 (X) × 105 (Y) mm,附設Y軸鎖定機構
ESD性能
外形尺寸
約318(寬) × 602(長) × 480(高)mm
重量
約19.5 kg (機身約重9.8 kg)
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